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半導體晶片退火爐 管式加熱爐

半導體晶片退火爐 管式加熱爐把實驗的氣體通入爐管中,管子的兩端由閥門密封,氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學反應。充氣時由閥門控制流量計、質量流量計、壓力表等監(jiān)控。

爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進口摩根纖維制作而成,節(jié)能效果是老式電爐80%以上。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-02-19
  • 訪  問  量:1068
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詳細介紹

半導體晶片退火爐 管式加熱爐把實驗的氣體通入爐管中,管子的兩端由閥門密封,氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學反應。充氣時由閥門控制流量計、質量流量計、壓力表等監(jiān)控。

爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進口摩根纖維制作而成,節(jié)能效果是老式電爐80%以上。(微電腦控制)可編程,全自動升溫,控溫精度±1℃ 爐管內(nèi)部可以抽成真空,實現(xiàn)高溫真空燒結。也*可以充以不同的氣體,加以氣氛保護。充氣時由閥門控制流量計、質量流量計、壓力表等

半導體晶片退火爐 管式加熱爐技術參數(shù)

溫度

項目

1000度、1200度、1400度、1600度、1700度、1800度、

電壓V

380

型號

SRD-1700GSL

設計溫度

1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度

可長期使用溫度

950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度

控溫精度

±1度(集成化電路控制,無*調現(xiàn)象)

控制范圍為

50至1800度

測溫元件

熱電偶分度號:K,測溫范圍0-13850度;S,測溫范圍0-1450度;B,測溫范圍0-1850度

發(fā)熱元件裝位置

平行/垂直安裝于爐膛兩側

爐溫均勻性

±1度(根據(jù)爐膛尺寸大小而定,大型爐膛可采用多點控溫)

爐管材質

石英管/不銹鋼管/剛玉管

控制

微電腦程序控制功能,可以輸入設定:可同時輸入多條曲線,使用時可任意調用

發(fā)熱元件

硅碳棒/硅鉬棒

升溫速率

升溫速率可自由調節(jié),調節(jié)范圍:升溫速率每分鐘40度(40度/min)、慢升溫速率每小時1度(1度/h)

耐火材料

高純氧化鋁纖維/進口摩根纖維

冷卻結構

雙層爐殼,風冷;爐體溫度≤45度

計算機接口(選配)

RS485/RS232/USB

保修范圍及期限

電爐*保修壹年,發(fā)熱元件、爐管、熱電偶不保修(發(fā)熱元件三個月內(nèi)自然損壞*更換)

隨機備件

發(fā)熱元件兩支、棒具兩套,說明書一份,合格證一份,高溫手套一副,密封圈兩個。













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